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氫氟酸的用途和制備

氟化氫,CAS號7664-39-3,是一種無色且帶有刺激性的氣體,易溶于水,無限溶于水后形成氫氟酸,是一種一元弱酸,有毒,對皮膚有腐蝕作用,也可經吸入途徑對人體造成傷害。因此,可能接觸到蒸汽或煙霧時,佩戴好面罩,當皮膚被污染時,脫去污染的衣著,用流動清水沖洗10分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液沖洗。如果被灼傷,就醫治療。 眼睛接觸:立即提起眼瞼,用流動清水或生理鹽水沖洗至少15分鐘。

氟化氫在工業上用途極其廣泛:常用于各種含氟化合物的制造;也可用作分析試劑,制造高純氟化物;在電子工業或者說半導體工業制造中,常用作強酸性腐蝕劑,主要使用在酸洗、腐蝕、灰分處理等工藝上。

 

2019年,日本對韓國禁運的純度高達99.999%的氟化氫,就是用于晶圓、電路和芯片的酸洗和腐蝕。氟化氫主要用來切割半導體基板,半導體產品的制造需要600多道工序,其中十多次工序會需要使用氟化氫。氟化氫在使用中經常與硝酸、乙酸、氨水、雙氧水配合使用。

氟化氫由于用途極其廣泛,因此其科研價值非常高。其制備方法也相對成熟??梢詤⒖歼@幾個文獻:
  1. [中國發明]CN202011444271.8一種飽和氫氟酸制備方法

  2. [中國發明]CN202010916637.0電子級氫氟酸的制備方法

  3. [中國發明,中國發明授權]CN200810049661.8一種生產電子級氫氟酸的方法


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